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日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修用于分析儀器以及半導體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,所以泵能提供更強的安全性
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更新時間:2024-10-29
產(chǎn)品產(chǎn)地:日本
在線留言品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
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泵軸位置 | 邊立式 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品,化工,石油,能源,電子 |
日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修
愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,所以泵能提供更強的安全性。
真空泵不良現(xiàn)象及原因分析
1、不良現(xiàn)象:真空泵運行過載報警。
2、原因分析:
經(jīng)對真空泵進行拆解, 發(fā)現(xiàn)以下幾個問題點:
不良現(xiàn)象 原因分析
(1)轉(zhuǎn)子軸套部磨損:
因軸承磨損導致轉(zhuǎn)子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。
(2)泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳:
因泵軸承損壞,轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。
(3)軸承磨損:
因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉(zhuǎn)導致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。
(4)軸封磨損:
因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。
(5)軸套磨損:
因高溫運行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。
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日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修